Nanoteknolojide malzemelerin nano ve atomik ölçekte görüntülenmesi, ayrıca fiziksel özelliklerininölçülmesi hayati bir öneme sahiptir. Taramalı Uç Mikroskopları (Scanning Probe Microscopy) bir iğne ileyüzey arasındaki fiziksel etkileşimleri atomik/nano seviyede ölçerek malzemelerin görüntülerini eldeedebilen yeni ve güçlü tekniklerin genel adı olup, nanoteknoloji devrimini ateşleyen en önemli buluştur. Buölçüm metodları içinde Atomik Kuvvet Mikroskobu (AKM, Atomic Force Microscope, AFM), TaramalıTünelleme Mikroskobu (Scanning Tunnelling Microscope, STM), Manyetik Kuvvet Mikroskobu (MFM),Taramalı Hall Aygıtı Mikroskobu (SHPM) gibi malzemelerin değişik özelliklerini değişik hassasiyetlerdeölçebilen yöntemler vardır. Bu mikroskoplar vakumda, yüksek basınç altında, sıvıda, havada, düşük veyüksek sıcaklıklarda bile çalışabilmekte; TEM ve SEM gibi mikroskoplara göre büyük avantajlarsağlamaktadırlar.Ayrıca bu yöntemler atomik seviyede görüntü vermelerinin yanında, atomik seviyede bile fabrikasyonyapmamıza imkan vermektedir. Bu mikroskoplar gen manipülasyonundan, atomik transistörlere kadargeniş bir yelpazede geniş fırsatlar sunmaktadır. Henüz başarılamamakla beraber yüzeydeki atomlarınhangi elementlerden oluştuğunu da Atomik Kuvvet Mikroskopları ile ölçemek yakın gelecekte mümkünolabilecektir.Atomik Kuvvet Mikroskopları henüz sıvıda atomik çözünürlükle çalışamamaktadırlar. Bu mikroskobun sıvıiçinde atomik çözünürlükle çalıştırılabilmesi, nanobiyoteknoloji ve diğer nanobilim alanlarında büyük birdevrim yaratacaktır.1-5 nm seviyesinde SPM litografi geçtiğimiz yıllarda laboratuvar şartlarında gösterilmiştir. Bu yöntemingeliştirilerek e-demet litografisine bir alternatif olması da incelenmektedir.Temel AraştırmaHEDEF 1: Ulusal Nanokarakterizasyon Merkezinin kurulması (2007)HEDEF 2 : Taramalı Uç Mikroskoplarının Geliştirilmesi, atomik manipülasyonun oda sıcaklığında dahakontrollü yapılabilmesi (2010)HEDEF 3: Sıvıda atomik çözünürlükle çalışan AKM’ler geliştirilmesi (2013)Uygulamalı ve Sınai AraştırmaHEDEF 1: Atomik Kuvvet Mikroskoplarının yatay-dikey kuvvetleri aynı anda sıvıda/vakumda ölçebilecekhale getirilmesi (2008)HEDEF 2: Taramalı Hall Aygıtı Mikroskoplarının 5-10nm hassasiyete getirilmesi (2011)Sınai GeliştirmeHEDEF 1: Yeni Nesil Taramalı Hall Aygıtı Mikroskoplarının/Taramalı Uç Mikroskoplarının geliştirilmesi(2010)HEDEF 2: Sıvıda atomik çözünürlükle çalışan Atomik Kuvvet Mikroskopları geliştirilmesi (2016)